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如何通過(guò)掃描電鏡能譜分析,給出可信的成分分析結(jié)果?

 發(fā)布時(shí)間:2019/6/12 點(diǎn)擊量:2319
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詳細(xì)介紹:

一、能譜定量不準(zhǔn)確的原因

 

能譜(EDS)結(jié)合掃描電鏡使用,能進(jìn)行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是:各種元素具有自己的X 射線特征波長(zhǎng),特征波長(zhǎng)的大小則取決于能級(jí)躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量E,能譜儀就是利用不同元素X 射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。

 

能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過(guò)程,樣品的導(dǎo)電性,元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此,在定量分析的過(guò)程中既有一些原理上的誤差(數(shù)據(jù)庫(kù)及標(biāo)準(zhǔn)),我們無(wú)法消除,也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差(操作方法),這些因素都會(huì)導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。

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