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突破掃描電鏡景深極限

 發(fā)布時間:2019/7/4 點擊量:2401
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詳細介紹:

掃描電鏡作為一種基礎顯微成像工具,因具有超高的放大能力,從而被高校、科研院所、材料研發(fā)和質量分析部門廣泛用于研發(fā)、生產過程。

 

相比于光學放大器件,掃描電子顯微鏡使用電子束進行成像,放大、分辨能力比光學顯微鏡有非常大的提升。

 

   

圖1 金相樣品光學顯微鏡圖像 (左) 和掃描電鏡圖像 (右)

 

Phenom 飛納電鏡開發(fā)了*的超景深成像模式。在該模式下,掃描電鏡可以根據(jù)樣品景深進行全視野掃描,并自動計算視野所有位置上可以獲得清晰圖像的工作距離,隨后連續(xù)自動曝光,終得到理論景深無限制的掃描電鏡圖像。圖 6 展示了超景深模式開啟前和開啟后的圖像對比。

 

圖6 超景深模式開啟前后效果對比

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