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如何呈現(xiàn)掃描電鏡樣品表面的“真實(shí)形貌”

 發(fā)布時(shí)間:2019/8/28 點(diǎn)擊量:2250
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詳細(xì)介紹:

掃描電子顯微鏡(SEM)是依靠電子束與樣品相互作用產(chǎn)生俄歇電子、特征 X 射線和連續(xù)譜 X 射線、背散射電子等信號(hào),對(duì)樣品進(jìn)行分析研究。

 

掃描電鏡在表征樣品時(shí),受諸多參數(shù)的影響,不同類型樣品應(yīng)選用合適的參數(shù),才能呈現(xiàn)出樣品更真實(shí)的表面信息。如在不同的加速電壓下,電子束與樣品作用所獲得的信號(hào)會(huì)有很大的差別。從理論上說,入射電子在樣品中的散射軌跡可用 Monte Carlo 的方法模擬(如圖1 所示),并且推導(dǎo)得到入射電子大穿透深度 Zmax。

 

Zmax=0.0019(A / Z)1.63E01.71

 

圖1 電子在鈦(Ti)金屬中的運(yùn)動(dòng)軌跡

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