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掃描電鏡常見搭檔——噴金儀相關(guān)問題詳解

 發(fā)布時間:2020/5/29 點擊量:2203
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詳細(xì)介紹:

噴金儀是什么?

 

在封閉腔室中,放置陽極靶材,充入氣體,保持一定的真空度,在陽極和陰極之間加載高壓,會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散,并在樣品上沉積,終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電,減小熱損傷,提高二次電子產(chǎn)率,從而改善掃描電鏡觀察效果。

 

平時使用時,常見的靶材是金靶。正是這個原因,離子濺射儀也俗稱“噴金儀”。

 

然而,為了獲得更細(xì)小的晶粒尺寸、更薄的連續(xù)鍍層,有時候也會使用其他靶材(比如鉻)。這些靶材對真空度的要求更高,需要額外配置分子泵方可達(dá)到要求。

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