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掃描電鏡的兩只“眼睛” —— 背散射模式和二次電子模式

 發(fā)布時間:2020/7/21 點(diǎn)擊量:2631
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詳細(xì)介紹:

飛納電鏡為客戶配備了二次電子成像模式,使得對樣品立體外觀形貌的觀察又上了一個臺階。飛納電鏡擁有了兩只觀測樣品的“眼睛”——背散射探測器(BSD)和二次電子探測器(SED),不管您有什么觀測需求,這兩只“眼睛”都可以滿足您絕大部分的要求。

 

二次電子模式

 

飛納臺式掃描電鏡內(nèi)部可配備二次電子探頭,收集從樣品中被轟擊出的二次電子。這些二次電子主要來源于距樣品 1~10nm 的表面,由于入射深度小,入射電子的作用區(qū)域與入射束的束斑尺寸差別不大,所以相同條件下,二次電子的分辨率是優(yōu)于背散射圖像的。而且,由于二次電子對樣品傾斜角度更敏感,二次電子圖像可以呈現(xiàn)更好的立體形貌,如下圖所示。

 

 

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